在集成电路生产制造阶段,光刻机是最关键设备
2024-06-22在张江，这里有一条现阶段国内唯一对外开放的12英寸集成电路先进工艺产品研发和国内设备原材料点评认证小试线。因为集成电路全产业链长、各阶段工艺流程复杂、项目投资量大，单就生产制造阶段就包含了千余个流程，且设备、原材料等绝大多数为海外垄断性。如何破解这重重的副本，保持中国技术性提升，变成摆放在眼下的难点。在位于张江的上海市集成电路产品研发中心，这条对外开放的生产流水线协助中国的集成电路公司进行各种科学研究和工艺验证，在科技成果转化中，相互推动集成电路的国内生产制造的系统进程。 上海市区集成电路产品